ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°. ΠΡΠ°ΠΊ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ? ΠΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½
ΠΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ»ΠΎ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ ΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΠΉ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠΈΡΠ΅. ΠΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. Π Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π½ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ². ΠΠΎ ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π½Π° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ² ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ². ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Π² ΠΎΡΡΡΠΈΠΌΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ , ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΠΎΠ²ΠΎΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π° Π½Π΅ Π΄Π°Π΅Ρ Π½ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, Π½ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°; Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π²Π°Π½-Π΄Π΅Ρ-Π²Π°Π°Π»ΡΡΠΎΠ²ΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ Π±Π΅Π· Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ³ΠΎ, Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π², ΡΡΠΎ Π·Π°ΡΡΡΠ΄Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ. ΠΠ»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Ρ: Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΈ ΠΈΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ, Π½Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠΏΡΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΡΠΌΠΎ Π½Π° ΡΡΠ±ΡΡΡΠ°ΡΠ΅ (ΡΠΈΡ. 3).
Π ΠΈΡ. 3.
ΠΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π·Π°ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΡΠΊΠ°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΡΡΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈΠΌ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° - ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° SiC, Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅.
Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ ΠΎΡΡΠ½ΠΎ-Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ² (ΠΠΠ), ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΎΠ², ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠΎΠΌ. Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π»ΠΈΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ
ΠΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ:
ΠΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ , Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²;
ΠΠ°ΠΌΠ΅Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ ;
ΠΠ½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΡ, Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π½ΠΈΡ Π΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ;
ΠΠ°ΡΡΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Ρ;
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ΄ΡΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π°ΠΊΠΊΡΠΌΡΠ»ΡΡΠΎΡΠ°Ρ , Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ;
ΠΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°;
ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠΊΠΈΠΉ, ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠΊ;
ΠΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΉΠ½Π΅ΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡ Π½Π΅Π΄Π΅Π»ΡΠΌΠΈ Ρ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π² Π½Π΅ΠΌ Π΅Π΄Ρ, ΠΈ ΠΎΠ½Π° Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΡΠ°Π²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΠΆΠ΅ΠΉ;
ΠΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΡΠΎΠ²;
ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠΊΠΈΠ΅ Π²Π΅ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ;
ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠ΅ ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΡ;
ΠΡΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅;
Π‘ΡΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΡ;
ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°;
ΠΡΠΊΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π² ΡΠ΅Π·Π΅ΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅;
Π£Π»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΊΡΠΈΠ½ΠΎΠ², ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π΄ΠΈΡΠΏΠ»Π΅Π΅Π².
ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈΠ· ΠΠ²ΡΡΡΠ°Π»ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π»ΠΈ Π±ΡΠΌΠ°Π³Ρ ΠΈΠ· ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠ»ΠΎΡΠ² Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°. ΠΠ½Π° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° ΡΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΡΡ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΎΡΡΡ. Π‘ΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° Π‘ΠΈΠ΄Π½Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π°ΠΊΠΊΡΡΠ°ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΎΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ, ΠΎΡΠΈΡΡΠΈΡΡ ΠΈΡ ΠΈ Π²ΡΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ Π² ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈΠ· Π³Π΅ΠΊΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠΎΠΊ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° - Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΡ Π±ΡΠΌΠ°Π³Ρ. ΠΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ - Π² ΠΏΡΡΡ-ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π· Π½ΠΈΠΆΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, Π° ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π· Π²ΡΡΠ΅
ΠΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π·Π°ΡΠΎΠ΄ΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΡ Π»ΠΎΠΏΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌ Π°Π»Π»ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΡΠΌ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡΠΌ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° (Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ, Π°Π»ΠΌΠ°Π·, ΡΡΠ»Π»Π΅ΡΠ΅Π½Ρ, Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΠ±ΠΊΠΈ).
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π±Π΅Π· ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅Π», Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Ρ. ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π±Π΅Π·Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎ, Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΎΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ - Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΈ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½.
Π 2004 Π³ΠΎΠ΄Ρ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° ΡΡΠ΅Π½ΡΡ ΠΈΠ· ΠΠ°Π½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ° (Π. ΠΠ΅ΠΉΠΌ, Π. ΠΠΎΠ²ΠΎΡΠ΅Π»ΠΎΠ²) ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅Π»Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΊ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΊ ΠΈΡΡΡ ΡΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΠ»Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠΈΡΠΊΠΎΠ² Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° ΠΈΠ· ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ SiC Π΄ΠΎ 1300Β°C Π² ΡΠ²Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΡΠ±Π»ΠΈΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°.
ΠΡΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ½ (Π°Π½Π³Π». graphene) -- ΡΠ»ΠΎΠΉ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ spΠ ΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ Π² Π³Π΅ΠΊΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΡ. ΠΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½Π½ΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΡΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌ, Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΆΡΡΡΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ (~1 Π’ΠΠ° ΠΈ ~5Π§10 3 ΠΡΒ·ΠΌ?1 Β·Π?1 ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ). ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ , Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΡΠ΄ΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ .
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠ² Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°. ΠΠ½ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°. ΠΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± -- ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ Π±ΡΠ» ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² 2004 Π³ΠΎΠ΄Ρ, ΠΎΠ½ Π΅ΡΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΊ ΡΠ΅Π±Π΅ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ.
ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΊΡΡΠΎΡΠΊΠΎΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ Π°Π»Π»ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°: Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° -- ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠ½ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΡ
Π ΠΈΡ. 1.
ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π½ΡΡ Π² Π³Π΅ΠΊΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΡ. ΠΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΡΡ Π·Π°Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΈΠ· Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ±ΡΠ°ΡΡ ΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°. ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΠΈ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ, Π² Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π°, ΠΏΡΠΈΡΡΠΌ Π² ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΈ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ Π»ΠΈΠ½Π΅Π΅Π½ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΠΊΡΠΎΡΠ°. Π’Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π° ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π±Π΅Π·ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ΠΉΡΡΠΈΠ½ΠΎ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ Π² Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π΅ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π·ΠΎΠ½ ΡΠ°Π²Π½Π° Π½ΡΠ»Ρ. ΠΠΎ Π·Π΄Π΅ΡΡ ΡΡΠΎΠΈΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ, Π½Π΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π±Π΅Π·ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, Π² Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π΅ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠΉ, Π΄Π΅Π»Π°ΡΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π² Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π΅ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅, Π° ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ: ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ, ΠΈ ΠΎΠ½ΠΈ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Ρ. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΡΡΠΈΡ Π±Π΅Π·ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΡ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π½Π΅Ρ.
ΠΠΎΠΏΡΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΠΏΡΠΈΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»ΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΈΡΡ Ρ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΡΠ°Π½Π΄Π°Ρ, ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠΈΠ»ΠΈΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ² Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, Π½ΠΎ Π½Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π»ΠΈ ΡΡΠΏΠ΅Ρ Π°. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Ρ Π²Π½Π΅Π΄ΡΡΠ½Π½ΡΠΌΠΈ (ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΊΠ°Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ) Π² ΠΌΠ΅ΠΆΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠΆΠ΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ (ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ) ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ.
Π‘ΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π»Π°ΡΡ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° SiO 2 ΠΏΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΠΠ. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ Π¨ΡΠ±Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Π° -- Π΄Π΅ ΠΠ°Π°Π·Π°, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ Π₯ΠΎΠ»Π»Π° Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ², ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ.
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠΌ ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠΌ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΈΡΡΡΠΌΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ»Π°Π±ΠΎ (ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠΈΠ»Π°ΠΌΠΈ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ) ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π ΠΈΡ. 2.
ΠΡΡΠΎΡΠΊΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΈΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΈΡ-Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ. Π‘Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π»ΠΈΠΏΠΊΠΈΠΌΠΈ Π»Π΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ»ΡΡΡ ΡΠ°Π· Π·Π° ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ (ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ). ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΡ Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡ Π² ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ (Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 10 ΠΌΠΊΠΌ). ΠΠ°ΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° (ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ»Π°Π±ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π½Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° 300 Π½ΠΌ) ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° (ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Π°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 1 Π½ΠΌ Π΄Π»Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°). ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π·Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ (Ρ ΠΎΠ»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠΎΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ).
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΡ. Π‘Π»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡΡΡ Π΅ΡΡ Π΄Π²Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°: ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (Π°Π½Π³Π». PECVD), ΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ (Π°Π½Π³Π». HPHT). ΠΠ· ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ.
ΠΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠ° ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ SiC (ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ), ΠΏΡΠΈΡΡΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°: C-ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Si-ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ -- Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ Π²ΡΡΠ΅. ΠΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ, Π½Π΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠ»ΠΎΡ, Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π² Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ SiC-C ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° Π΄Π²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄. Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½Ρ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°.
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΡΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ. Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π° Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ (2008) ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Ρ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ~10 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΠΎ Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, Π½ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ ~10-100 Π½ΠΌ. Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅ΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ SiC ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°.
ΠΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ
ΠΡΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΈΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ (ΠΠ±Π±ΡΠ΅Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠ° ΠΠΠΠ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΈΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠΈΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Ρ ΡΠ³Π»ΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ c-ΠΎΡΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΌ 1 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡ. ΠΠ½ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±ΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠ°Ρ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²Π°Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ. ΠΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΠΠΠ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ 3300 K ΠΠΠΠ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π». Π₯ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, Π½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π»ΠΎΠΌΠΊΠΈΠΉ. HOPG ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ .) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΈΡ-Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ ~100 ΠΌΠΊΠΌ. Π‘Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π»ΠΈΠΏΠΊΠΈΠΌΠΈ Π»Π΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ»ΡΡΡ ΡΠ°Π· Π·Π° ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ (ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ). ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΡ Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡ Π² ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ (Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 10 ΠΌΠΊΠΌ). ΠΠ°ΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° (ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ»Π°Π±ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π½Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° 300 Π½ΠΌ) ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° (ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Π°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 1 Π½ΠΌ Π΄Π»Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°). ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΡΠ°ΠΌΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° Π₯ΠΎΠ»Π»Π°. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π·Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ (Ρ ΠΎΠ»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠΎΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ).
ΠΡΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΌ ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΌ (Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ~10 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΠΊΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΠΊ ΠΊΠ»Π΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ°. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΠΊΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π»ΠΈΠΏΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠ»Π΅Ρ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠΌ ΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠΌ. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π°ΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 0.16 Π½ΠΌ (Π² Π΄Π²Π° ΡΠ°Π·Π° ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ).
ΠΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π‘Π»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡΡΡ Π΅ΡΡ Π΄Π²Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°: ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (Π°Π½Π³Π». PECVD), ΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ (Π°Π½Π³Π». HPHT). ΠΠ· ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ.
ΠΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠ° ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ SiC (ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ), ΠΏΡΠΈΡΡΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°: C-ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Si-ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ -- Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ Π²ΡΡΠ΅. ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠ»ΠΎΡ, Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π² Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ SiC-C ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° Π΄Π²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄. Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½Ρ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°.
ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΈΡ.
ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ
ΠΡΠ»ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ΠΏΠΈΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΡΠΎΡΠΊΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ, ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΡ (ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π»ΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ 1 Π΄ΠΎ 13 ΠΊΠ) ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΡΠ΄Ρ.
ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° (Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½Π΅ΠΌ ΠΏΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ) ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π° (~1100 K) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ² Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΠΊ.
ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ
Π‘ΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π±Π°Π»Π»ΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ. ΠΡΠ» ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ Π½Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π΅, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎ-ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡ. ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌ Π² ΡΠΊΠΎΡΠΎΠΌ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΠ»Π°ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Ρ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ 10 Π½ΠΌ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ Π½Π΅Π»ΡΠ·Ρ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π΄Π²Π° ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Ρ Π·Π°ΠΊΡΡΡΡΠΌ ΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΡΡΠΌ ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠΌ.
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° Π±Π΅Π· ΡΠΎΠΊΠΎΠ² ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΡ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π΅, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π½Π΅Π»ΡΠ·Ρ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈ Π»ΡΠ±ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΠΊ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΡ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΡ Π΄Π²Π° ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π²ΠΎΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠΈ: ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π΅. Π‘Π½Π°ΡΠ°Π»Π° Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠΌ-Π½ΠΈΠ±ΡΠ΄Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ (ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄ΡΠ½Π½ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π΄Π°Π²Π°Π»ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΠΉ Π²ΠΊΠ»Π°Π΄ Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ). ΠΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅. Π ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Ρ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎ-ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π±ΡΠ»Π° Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° Π² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ (Π·Π°ΠΊΡΡΡΠΎΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅) ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ (28 ΠΌΡΠ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ 20 Π½ΠΌ). ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ (ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΌ Π² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΌ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅) 10 4 ΠΒ·ΡΠΌ?1 Β·Ρ?1 Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅. ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΡΠΎ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΆΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ, Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡ ΠΊ Π½Π΅ΠΌΡ Π΅ΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½.
ΠΡΡΠ³Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠ° Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ» Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ², ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΠ½Π½ΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ.
ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° -- Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² ΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ (ΡΡΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠ°Ρ ) Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π·Π°ΡΡΠΆΠ°Π΅ΠΌΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΎΠΊΠ°.
ΠΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΎΠΌ. Π§ΠΈΡΡΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° (GO) Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈ. ΠΠ°ΡΡΡΠ°Π± 40 ΠΌΠΊΠΌ (ΡΠ»Π΅Π²Π°) ΠΈ 10 ΠΌΠΊΠΌ (ΡΠΏΡΠ°Π²Π°). Π€ΠΎΡΠΎ: Jieun Yang, Damien Voiry, Jacob Kupferberg / Rutgers University
ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ - 2D-ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π°ΡΠΎΠΌ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ½ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ Π²ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΠ΅ΠΌΠ»Π΅. ΠΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π² ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ , Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅, ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠ°Ρ , ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ ΠΈ Ρ.Π΄. ΠΠ΅Π»ΠΎ Π·Π° ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ - Π½Π°ΡΡΠΈΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π°Ρ .
Π₯ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ· Π Π°ΡΠ³Π΅ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° (Π‘Π¨Π) Π½Π°ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ ΠΈ Π±ΡΡΡΡΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΡΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈ . ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π½Π° ΡΠ΄ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠΈΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ.
ΠΠΊΡΠΈΠ΄ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° - ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ
, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ. Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π°Π²ΠΈΡΡΡΡ ΠΎΡ ΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π² Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ
Π»ΠΈΡΡΠ°Ρ
, Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡ.
ΠΠΊΡΠΈΠ΄ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Ρ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π΅ΡΡ Π΄Π°Π»ΡΡΠ΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π». Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ Ρ ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠΈ Π»ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΠΎ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° (GO). Π₯ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΈΡΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΈΡΠ½Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ· GO ( , , , ), Π½ΠΎ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π°ΠΌΠΈ GO (rGO) ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π΄Π°Π»ΡΠΊ ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ ΠΎΡ Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (Π₯ΠΠΠ€ ΠΈΠ»ΠΈ CVD).
ΠΠ°ΠΆΠ΅ Π² Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ rGO ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π΅Π½ Π΄Π»Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ( , , , , ) ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ( , , , ), Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Ρ ΠΎΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°ΡΡΠΈΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΈΠ· GO.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ· Π Π°ΡΠ³Π΅ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ ΠΈ Π±ΡΡΡΡΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ GO Π΄ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ 1-2-ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Π½ΡΠ΅ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ Π½Π° Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ°Ρ , Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Β«ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΠΌ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌΒ» (MW-rGO) ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΊ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΉΡΠ΅ΠΌΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Ρ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π₯ΠΠΠ€.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ MW-rGO, ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π½Π΅ΡΡΠΎΠ½ΡΡΡΠΌ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° GO, Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° rGO ΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (CVD). ΠΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Ρ
Π»ΠΎΠΏΡΡ GO, ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄ΡΠ½Π½ΡΠ΅ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ (Π); ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ (B); ΡΠ°ΠΌΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² (L a) ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΈΠΊΠΎΠ² l 2D /l G Π² ΡΠ°ΠΌΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ Π΄Π»Ρ MW-rGO, GO ΠΈ Π₯ΠΠΠ€ (CVD).
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° MW-rGO, ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ rGO. ΠΠ»Π»ΡΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ: Rutgers University
Π’Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ MW-rGO ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ².
- ΠΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π₯Π°ΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ Ρ Π»ΠΎΠΏΡΠ΅Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅.
- ΠΡΠΆΠΈΠ³ GO, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΡΠ°Π» Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΠΎΡΠΏΡΠΈΠΈΠΌΡΠΈΠ² ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
- ΠΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π»ΠΎΠΏΡΠ΅Π² GO Π² ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ 1000 ΠΡ Π½Π° 1-2 ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Ρ. ΠΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΡ GO Π±ΡΡΡΡΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠ±ΡΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ ΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ»Π΅ΠΏΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΠΈ.
ΠΠ° ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ
Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΡΠΎ ΡΠΊΠ°Π»ΠΎΠΉ 1 Π½ΠΌ. Π‘Π»Π΅Π²Π° - ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΉ rGO, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° (ΡΠΈΠ½ΡΡ ΡΡΡΠ΅Π»ΠΊΠ°) ΠΈ Π΄ΡΡΡ Π² ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ (ΠΊΡΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΠ΅Π»ΠΊΠ°). ΠΠΎ ΡΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π° - ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΠΎ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π΄Π²ΡΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΉ ΠΈ ΡΡΡΡ
ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΉ MW-rGO. Π€ΠΎΡΠΎ: Rutgers University
ΠΠ΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ»Π΅ΠΏΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° MW-rGO ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π΄ΠΎ 1500 ΡΠΌ 2 /ΠΒ·Ρ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌΠΎ Ρ Π²ΡΠ΄Π°ΡΡΠΈΠΌΠΈΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, MW-rGO ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ²: ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π» ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»Π΅Π½ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π’Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°: ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ 38 ΠΌΠ Π½Π° Π΄Π΅ΠΊΠ°Π΄Ρ. ΠΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡ Π½Π° MW-rGO ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΠΈΠ» ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π»Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 100 ΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΡΡ ΡΡΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠ°ΡΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ°ΡΡΡ "High-quality graphene via microwave reduction of solution-exfoliated graphene oxide" ΠΎΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π° 1 ΡΠ΅Π½ΡΡΠ±ΡΡ 2016 Π³ΠΎΠ΄Π° Π² ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π΅ Science (doi: 10.1126/science.aah3398).
ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π²ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡΠΈΡΡΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅Π½ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΡΠ»ΠΈ Π² 2007 Π³ΠΎΠ΄Ρ Π²ΡΡΠ»ΠΎ 797 ΡΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ, ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Ρ, ΡΠΎ Π·Π° ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ 8 ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ΅Π² 2008 Π³ΠΎΠ΄Π° - ΡΠΆΠ΅ 801 ΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡ. ΠΠ°ΠΊΠΎΠ²Ρ ΠΆΠ΅ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠΈΠΌΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ?
ΠΠ° ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΡΡΠ½ΠΈΠΉ Π΄Π΅Π½Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ (ΡΠΈΡ. 1) - ΡΠ°ΠΌΡΠΉ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π», ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Ρ, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π°ΡΠΎΠΌ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠ½ Π²ΠΎΡΠ΅Π» Π² ΡΡΠ΅Π±Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ Π² Π½Π°ΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π² 2004 Π³ΠΎΠ΄Ρ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈΠ· ΠΠ°Π½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° ΠΠ½Π΄ΡΠ΅ ΠΠ΅ΠΉΠΌ ΠΈ ΠΠΎΠ½ΡΡΠ°Π½ΡΠΈΠ½ ΠΠΎΠ²ΠΎΡΠ΅Π»ΠΎΠ² ΡΡΠΌΠ΅Π»ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ Π»Π΅Π½ΡΡ-ΡΠΊΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΌ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½Ρ (ΡΠΌ. ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅). ΠΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΠ΅Π»Π΅Π½ ΡΠΎΡ ΡΠ°ΠΊΡ, ΡΡΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ Π»ΠΈΡΡ, ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΡ Π² Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏ. Π ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°Π½Π³ΡΡΡΠ΅ΠΌ (1Γ = 10 β10 ΠΌ)!
ΠΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ Π΄Π΅Π½Ρ ΠΎΡΠΎ Π΄Π½Ρ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΎΠ½ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ , ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ, ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Π² Π½Π΅Π΄Π°Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ (ΡΠΈΡ. 2).
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ ΡΡΠΎ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΊΠΎΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π΄Π»Ρ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ, Π° ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π½Π°ΠΈΠΊΡΠ°ΡΡΠ°ΠΉΡΠΈΠΉ ΠΏΡΡΡ ΠΊ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ°ΠΌ, Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°. Π Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³Ρ ΠΊΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠΌ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΈ Π±Ρ Π²Π½Π΅Π΄ΡΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΡ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ². ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅Π½Ρ: Π²ΠΎ-ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ , Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ; Π²ΠΎ-Π²ΡΠΎΡΡΡ , ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΡΠ°ΠΊ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ» ΡΠΎΡΠΌΡ Π»ΠΈΡΡΠ°, Π° Π½Π΅ ΡΠ²ΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π»ΡΡ ΠΈ Π½Π΅ ΡΠ»ΠΈΠΏΠ°Π»ΡΡ.
ΠΠ° Π΄Π½ΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅ΡΡΠΈΠΆΠ½ΠΎΠΌ ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π΅ Nature Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π΄Π²Π΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΈ Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π°Π²ΡΠΎΡΠ°ΠΌ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠ΅Π½Π°Π·Π²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅.
ΠΠ΅ΡΠ²Π°Ρ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ - ΠΈΠ· Π‘ΡΡΠ½ΡΠΎΡΠ΄ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° (ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ, Π‘Π¨Π) ΠΈ (ΠΠΈΡΠ°ΠΉ) - Π²Π½Π΅Π΄ΡΡΠ»Π° ΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° (ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠΈ; ΡΠΌ. Graphite intercalation compound), ΠΈ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π±ΡΡΡΡΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π»Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π΄ΠΎ 1000Β°C (ΡΠΈΡ. 3a). ΠΠ·ΡΡΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»-ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ (ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²) Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Β«Ρ Π»ΠΎΠΏΡΡΒ», ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π². ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π½Π΅Π΄ΡΡΠ»ΠΈ Π΄Π²Π° Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° - ΠΎΠ»Π΅ΡΠΌ ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΎΠΊΠΈΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ°Π±ΡΡΠΈΠ»Π°ΠΌΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ (ΠΠ’ΠΠ) (ΡΠΈΡ. 3b). ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π» ΠΊΠ°ΠΊ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ (ΡΠΈΡ. 3c). ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡΠ³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° (ΡΠΈΡ. 3d).
Π ΡΠΎΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΡΠΎΡΠ°Ρ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° ΡΡΠ΅Π½ΡΡ - ΠΈΠ· ΠΡΠ±Π»ΠΈΠ½Π° , ΠΠΊΡΡΠΎΡΠ΄Π° ΠΈ ΠΠ΅ΠΌΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΆΠ° - ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠΈΠ»Π° Π΄ΡΡΠ³ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΈΠ· ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° - Π±Π΅Π· ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΎΠ². ΠΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅, ΠΏΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΠΌ Π°Π²ΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΡΠ°ΡΡΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Β«ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅Β» ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ N-ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»-ΠΏΠΈΡΡΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΎΠ½ . ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠΌ Π±ΡΠ»Π° ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½βΠ³ΡΠ°ΡΠ΅Π½. ΠΠ° ΡΠΈΡ. 4 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ°Π³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°.
Π£ΡΠΏΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΎΠ² ΠΈ/ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°. Π Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄, Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΉ Β«ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅βΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅βΠ²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅Β», Π² Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π±Π°Π·ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎ-ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠΎΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΌ (ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠΏΡΠΎΡΡΡ Π²Π»Π°Π³ΠΎΠ»ΡΠ±ΠΈΠ²ΡΠΌ) ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠ°, Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΡ Π² Π²ΠΎΠ΄ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π½ΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΎΠ² Π½ΠΈΠΆΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ Β«ΡΠΊΠΎΡΡ-ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°Β» (ΡΠΌ. ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅). Π‘ΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π²ΡΡΠ΄ Π»ΠΈ ΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅.
ΠΠ°ΠΊ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎΡΡ, Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π±ΡΠ» ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π΄Π²ΡΡ Π²ΡΡΠ΅ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° (ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅) ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ.
ΠΡΠ΅Π½Ρ ΠΊΡΡΠ°ΡΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ Π΅ΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ· ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ , ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅Π΄Π°Π²Π½ΠΎ ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠΈΠ»ΠΈ ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ (ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ 1Γ ) ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² (80 ΠΊΠ) Π΄Π»Ρ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°. Π£ΡΠ΅Π½ΡΠΌ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΡΡΠΈ (ΡΠΈΡ. 5), Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌΠΈ Π³Π»Π°Π·Π°ΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°.
ΠΡΠ΅ Π΄Π°Π»ΡΡΠ΅ ΡΡΠ»ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈΠ· ΠΠΎΡΠ½Π΅Π»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° . ΠΠ· Π»ΠΈΡΡΠ° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΈΠΌ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π°ΡΠΎΠΌ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΠΈ Π½Π°Π΄ΡΡΡ Π΅Π΅, ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΠΈΠΊ. Π’Π°ΠΊΠ°Ρ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Π° ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π°ΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π·Π° Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Ρ. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ» Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠ° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅ΠΉΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ Π»ΠΈΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π²Π°Π½-Π΄Π΅Ρ-Π²Π°Π°Π»ΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΠ» ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΊΡΠ΅ΠΏΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 6a). Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π³Π°Π·. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Π»ΠΈ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ½Π°ΡΡΠΆΠΈ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ (ΡΠΈΡ. 6b). ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏ , ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΡΡΠΈΠΉ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΠ»Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠ»Π΅Π²Π΅Ρ Ρ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Ρ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΎΡ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠΌ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎΡΡΠΈ-Π²ΡΠ³Π½ΡΡΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Ρ (ΡΠΈΡ. 6cβe) ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Ρ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Π° Π±ΡΠ»Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π² ΡΠΎΠ»ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π±Π°ΡΠ°Π±Π°Π½Π° Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ Π΅Π΅ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ»ΠΎ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π³Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π² ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅, Π±ΡΠ» Π½Π΅ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»Π΅Π½ (ΠΈΠΌΠ΅Π» Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ), ΡΠΎ Π³Π°Π· ΠΏΠΎΠ½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π»ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Ρ. Π ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π»ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 70 ΡΠ°ΡΠΎΠ², Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Ρ (ΡΠΈΡ. 6e).
ΠΠ²ΡΠΎΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΠΌΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ - Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ. ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΊΡΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΈΠ·ΡΡΠ°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Ρ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΎΠΌ, Π½Π΅ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡ Π·Π° ΡΡΠ΅ΡΠΊΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°, ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΆΠΈΠ·Π½Π΅Π΄Π΅ΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΊΠΎΠ»Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° Π² ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Π΅ ΠΈ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ, ΠΈΠ·ΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Ρ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅. ΠΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ - ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π½ΡΡ ΠΈΠ· ΠΠΎΡΠ½Π΅Π»Π»ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° Π΅ΡΠ΅ Π½Π° ΡΠ°Π³ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΠ»ΠΎ Π½Π°ΡΠΊΡ ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ².
Π‘ΡΡΠ΅ΠΌΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π½Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ ΡΡΠΎ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΡΠ³Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π½ΠΎ Π΄ΠΎ Π²ΠΎΠΏΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ Π² ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ Π΅ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠΈΡΡ Π½Π΅ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π΄Π΅ΡΡΡΠΎΠΊ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ².
Impermeable Atomic Membranes from Graphene Sheets (Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΊΡΡ) // NanoLetters . V. 8. No. 8. P. 2458β2462 (2008).
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΠ°Π½Π΄Ρ Π‘Π°ΠΌΠ°ΡΠ΄Π°ΠΊ
ΠΠ»Π°Π΄Π΅Π»ΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠ° RU 2572325:
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π½Π°Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π°Π·ΠΎΡΠ΅. ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 10 -13 Ρ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠΌΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ 75% ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠ΅Π½ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ². Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°. 2 ΠΈΠ».
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π½Π°Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ΅ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ: ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΠΈ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΡΠ³Π΅, ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Ρ.ΠΏ. ΠΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, Π½ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ. Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΡ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ. ΠΡΠΎΡΠ°Ρ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΈ Ρ.ΠΏ. ΠΠ½ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΡ Π² ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ. ΠΡΠΎ, ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ, ΠΌΠ°Π»Π°Ρ Π΄ΠΎΠ»Ρ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΎΡ ΡΠΎΠΏΡΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄ (ΠΠ»Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π.Π., ΠΡΠΊΠ°Π½Π΄Π°ΡΠΎΠ²Π° Π.Π., ΠΠ½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΊ Π.Π. ΠΈ Π΄Ρ. ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½: ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. Π£ΡΠΏΠ΅Ρ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°ΡΠΊ, 2011, Ρ. 181, β3, Ρ. 233-250).
ΠΠ·Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° (ΡΠΌ. ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½Ρ US 20130102084 Π1, ΠΠΠ C01B 31/04, H01L 51/00, H01L 51/42, ΠΎΠΏΡΠ±Π».: 25.04.2013), ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΡΠ΄ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠΎΠ², ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡΠΈΡ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² ΡΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² (Li, Al, Fe, Cu) Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΡ (ΠΏΡΠΎΠΏΠΈΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΠ½Π°Ρ, Ξ,Ξ-Π΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠΎΡΠΌΠ°ΠΌΠΈΠ΄, Π΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΡΠ»ΡΡΠΎΠΊΡΠΈΠ΄). ΠΠΎΠ½Ρ ΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ Π²ΡΠ½ΡΠΆΠ΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΠ»Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ, ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ, ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ, ΡΠΎΠ»ΡΠ²ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ, Π°ΠΊΡΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΊΡΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ.
ΠΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ² Π΅Π³ΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ (ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ Π²ΡΠ½ΡΠΆΠ΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΠ»ΠΎΠΉ, ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°). ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎΠ»Π½Π°Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΎΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π½Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°.
ΠΠ·Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (ΡΠΌ. ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½Ρ US 20130056346 A1, ΠΠΠ C01B 31/02, B01J 19/12, B82Y 40/00, ΠΎΠΏΡΠ±Π».: 07.03.2013). ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Π² Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΡΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ).
ΠΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ ΡΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠ².
ΠΠ·Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π² ΠΊΡΠΈΠΎΠ³Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡΡ (ΡΠΌ. Mortazavi S.Ξ., P. Parvin, Reyhani A. Fabrication of graphene based on Q-switched Nd:YAG laser ablation of graphite target in liquid nitrogen. Laser Physics Review Letters, 2012, Vol. 9, β7, P. 547-552 (ΠΏΡΠΎΡΠΎΡΠΈΠΏ)), ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π°Π±Π»ΡΡΠΈΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ, ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ Π°Π·ΠΎΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Π½ΡΠΉ Nd:YAG Π»Π°Π·Π΅Ρ Ρ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ±ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ.
Π Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°ΠΌ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ ΡΠΎ, ΡΡΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ (20 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ) ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΡΠΌ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΡΠ½Π° ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΠΎΠ²ΠΎΠΊΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΎΠ² ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π°.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π·Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠΈΠΊΠ» ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π±Π΅Π· ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ², ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ Π² ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π°Π·ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 10 -13 Ρ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠΌΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ 75% ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠ΅Π½ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ².
ΠΠ° ΡΠΈΠ³. 1 ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΈΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° (ΠΠΠΠ). ΠΠ° ΡΠΈΠ³. 2 ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° Quanta 200 3D.
Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ±ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΡΠΎΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ° Π’ΠΠ’Π-10. ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ Π»Π°Π·Π΅Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ 1029 Π½ΠΌ, Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° 300 ΡΡ ΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ Π² ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ΅ 150 ΠΌΠΊΠΠΆ. Π§Π°ΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ² 10 ΠΊΠΡ. ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΡΡΠ΅Π΄Π΅ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°Π·ΠΎΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π΅Π΅ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 ΡΠΌ. ΠΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΡΡΠ½Π° Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° 100 ΠΌΠΊΠΌ.
ΠΡΠΈ Π°ΠΏΡΠΎΠ±Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° (ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΈΡΠ΅Π½Π΅ΠΉ) Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°: Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΈΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΠΠ-1,7-10Γ10Γ1-1 ΠΈ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ Π‘Π£-2000.
ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΡΠΊΠ° ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ 0,25 ΠΌ/Ρ. ΠΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ 75% ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠ΅Π½ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ², ΡΡΠΎ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ° ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΌΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (Π·Π° ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΉ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ°). ΠΡΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π°, Π° ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΠΈ, ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ, ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π½ΡΡΠΎΠΉ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅. Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Ρ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π»ΠΈΠ½ΠΈΡΠΌΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅ΠΊΠΎΠ² 100 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ.
Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΠΎΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 10 Π½ΠΌ. Π ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΠΠΠ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΠΌΠ΅ Π»Π΅Π½Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 50 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 150 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ Π΄ΠΎ 150 ΠΌΠΊΠΌ. Π ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΊΠΎΠ² Ρ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΎΠΉ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 ΠΌΠΊΠΌ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π·Π°Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°Π·ΠΎΡΠ°, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ½ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°.
Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π°Π·ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΠΉΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 10 -13 Ρ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠΌΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ 75% ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠ΅Π½ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ².
ΠΠΎΡ ΠΎΠΆΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΡ:
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ. ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΠ³ΠΈΡΡΡΡ ΠΈΠ³Π»ΠΎΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ° Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΠ³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ.
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄-ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΊΠ°Π½ΡΡ Π°ΡΠΌΠΈΡΡΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½Π° ΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΠΏΠ΅ΠΊΠΎΠ² Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΠΊ.
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠ°ΠΊΠ΅ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΠΆΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΠΎΠ³Π°Π±Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ·Π΅ΡΠ½ΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈ Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊ ΠΊΠ΅ΡΠ½Π° Π² ΡΡΠΎΠ»Π±ΠΈΠΊΠ°Ρ , ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³Π° ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠΏΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ 0,2 Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ.
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° (Π’Π Π) ΠΈ ΠΎΠ³Π½Π΅Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ Π² ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ, Π³/Π³ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°: ΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ° 2,0-5,0; Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΠΉ Π°ΠΌΠΌΠΎΠ½ΠΈΠΉ 0,04-0,15; ΠΊΠ°ΡΠ±Π°ΠΌΠΈΠ΄ 0,04-0,15.
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅, Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΎΠΌ Ρ ΠΎΠ·ΡΠΉΡΡΠ²Π΅ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΉΠ½Π΅ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Ρ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ². ΠΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΡΠΎΡΠΈΡΡΡΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ - ΡΡΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Ρ Π»ΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΡΠΎΠΌΠ° Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅, ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΊ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠΎΡΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌ, Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ°Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ΅ΠΎΠ½.
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ΅ΡΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ. Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΡ Π½Π΅ΡΠ΅Π·ΠΎΡΠ±ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΡ ΠΊ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡΠΌ.
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»ΡΠΌ, ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΠΌ ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΠΌ Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΌ ZrO2, ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ Π·ΠΎΠ»Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ 50 Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ Π·ΠΎΠ»Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎ-ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ, Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡΡ ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠ°ΡΠΎΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΡ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π³Π΅Π»Ρ, ΡΠΊΡΡΡΠ°Π³ΠΈΡΡΡΡ ΡΠΏΠΈΡΡ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ, ΠΈΠ· Π³Π΅Π»Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΡΡΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ.
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ΅ΠΉΠΊΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ U-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΠΈΠ·ΠΎΠΏΡΠΎΠΏΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΡΠΏΠΈΡΡΠ΅ Π² ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π²Π°Π½Π½Π΅ ΠΈ ΡΡΡΠΊΠΎΠΉ Π² Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ , ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Π΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠΎΡΠΌΠ°ΠΌΠΈΠ΄Π° Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΈ 20% ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° (30%).
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π½Π°Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π°Π·ΠΎΡΠ΅. ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 10-13 Ρ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠΌΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ 75 ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠ΅Π½ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ². Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°. 2 ΠΈΠ».